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In-Line PECVD system for HIT junctions 用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
 
   
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In-Line PECVD system for HIT junctions 用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统

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In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统

Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
产率:18片6吋硅片/小时



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