WCT-120TS变温少子寿命测试仪

产品概述

该wct-120ts少子寿命测试仪展示了独特的测量和分析技术。wct-120仪器分别采用由辛顿仪器变温（温度范围从25到200°C ）和准稳态光电导法得到硅片的载流子复合寿命。

wct-120ts系统能力

主要应用：

在一个温度范围内测量硅片的少数载流子复合寿命。

其它功能：

温度和注入相关的少子寿命的周期结果。

应用于：

•初始材料（硅片）质量监控

•晶圆（硅片）加工过程中重金属污染的检测

•评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散

•使用隐含的I-V测量评价过程中引入的漏电流

上图为温度和注入相关的寿命测量结果