材料3D实时动态显微镜 MEMS 半导体瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 “DHM(Digital Holographic Microscopy)主要应用是在MEMS研发中用于测量工作,以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比,在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm,水平方向为200nm~300nm(取决于物镜)。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm,可以15帧/秒的速度进行测量。因此,1cm见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时,同等 | |